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壓力傳感器基礎(chǔ)知識
發布(bù)時間:2024-04-17
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    傳感器不(bú)但應該(gāi)對被測量(liàng)敏感,而且具有把(bǎ)它對被測量的響應傳送(sòng)出去的功能。

也就(jiù)是說,傳感器不隻是(shì)一般的敏(mǐn)感元件,它的(de)輸出響應還必須是易於傳送的物理量(liàng)。
例如:上訴的彈性膜盒的輸(shū)出響應是形變,是微小的幾何量,不便於向遠方傳送。
如果把膜盒中心的位移轉變(biàn)為電容極板的間隙變化,就成(chéng)為輸出響應(yīng)繞包機是電容量(liàng)的壓力傳感(gǎn)器。
  

    由於電信號最便於傳(chuán)送,所以絕大多數傳感器的輸出是電量(liàng)的形式(shì),如電(diàn)壓、電流(liú)、電阻、電感、電容、頻率等。
  

    變送器是從傳感器發展而(ér)來的,凡(fán)能輸出標準(zhǔn)信號的傳感器就稱為變送器。
(標準信號是物理量的形式和數值範圍都符合標準的(de)信(xìn)號。
例如直流4~20mA)有了統一的信號形式和(hé)數值範圍,就便於把各種變送器和其他儀表組成檢測係統或(huò)調節係統。
  

    輸出(chū)為(wéi)非標(biāo)準信(xìn)號的傳感器,必(bì)須和特定的儀表或裝置配套,才能實(shí)現檢測或調節功能。
為了加強通用性和靈活性,某些傳感器的輸(shū)出(chū)可以靠轉換器把非(fēi)標準信號轉換成標準信號,使之與帶有標準(zhǔn)信(xìn)號的輸(shū)入電(diàn)路或接口的儀(yí)表配套(tào)。
不同的標準(zhǔn)信號也可借助於轉換器互相轉換。
例如利用氣/電(diàn)轉換器(qì),能把20~100 kPa的空氣壓力轉換成(chéng)0~10mA的直流電流。
  

    位式作用(yòng)和連續(xù)作用:     

    位式作(zuò)用,也稱為開關作用,即傳(chuán)感器在輸入變量(liàng)整個變化範圍內其輸(shū)出相應隻有兩種狀態,例如空氣狀態的“高”和“低”。
 

    位式作用的(de)傳感器(qì)多用於被測變量的超限報(bào)警、連鎖保護、順序控製(zhì)。
例如我們的壓力開關。
 

    需要連續檢(jiǎn)測或調節某些變量時,就必須用連續作用的傳感器或變送器。
 

    長野的變送器中所使用的傳感(gǎn)器SS—蒸發(fā)型半導體應變片的特點:     

   (1)相(xiàng)對(duì)於粘貼式和(hé)擴散式,蒸發式為新技術。
 

   (2)其可測壓力範圍 -0.1~0.3MPa;0~200MPa 。

   (3)具有很好耐用(yòng)性和穩定(dìng)性。

    半導體(tǐ)應變片的製作方法:粘貼方式、蒸發方式、擴散方式。
  

    長野的變送(sòng)器,如KM31、KM10 等,其半導體應變片部分、感應元件(不鏽鋼隔膜)以及壓力接口部分(fèn)通過焊接連接成一體,具有很高的穩(wěn)定(dìng)性和可靠(kào)性,抗震性和抗衝擊性良好。
 

     蒸發式半導體應變片的具體製作方式如下:        

   (1)在不鏽鋼(gāng)隔膜上使用CVD等離子沉澱一層SiO2絕緣(yuán)膜 

   (2)在SiO2絕緣膜上再沉澱一(yī)層多晶矽。
 

   (3)在多晶矽上使(shǐ)用激光蝕刻,應變片成型 。

   (4)用電子束照射蒸鍍,配上金製電極。
 

   (5)再使用CVD等離子沉澱一層SiNx保(bǎo)護膜。
 

 

    根據傳感器或變送器的安裝場所有無易燃易(yì)爆氣體及危險程度,選擇隔(gé)爆型及本安型。
     

   (1)隔爆(bào)型在內(nèi)部電路和周圍易燃氣體之間(jiān)采取了隔離措施,允許使用在有一定危險性(xìng)的環境裏 。

   (2)本安型即本質安全型的簡稱,依靠特殊(shū)設計的電路(lù)保證在正常工作及(jí)故障(意外短路或(huò)斷路(lù))狀態下都不會引(yǐn)起燃爆事故,可用在十分易(yì)燃易爆的場所。

繞包(bāo)機


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