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壓力傳感器(qì)基礎知識
發布時間:2024-04-17
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    傳感器不但應該對被測量敏感,而且具有把(bǎ)它對(duì)被測(cè)量的響應傳送出去的功能。

也就是說,傳感器不隻是一般的敏(mǐn)感元件,它的輸出響應還必須是(shì)易於傳送的物理量。
例如:上訴的彈性膜盒的輸出響應是形(xíng)變,是微小(xiǎo)的幾何量,不便於向遠方傳送。
如果把膜盒中心的位移轉(zhuǎn)變為電容(róng)極板的間隙變化,就成為(wéi)輸出響(xiǎng)應繞包機是電容(róng)量的壓力傳感器。
  

    由於電信號最便於傳送,所以絕大多數傳感器的輸出是電量(liàng)的(de)形式,如電壓、電流、電阻、電感、電容、頻率等。
  

    變送器是從傳感器發展而(ér)來的,凡能輸(shū)出標準信號的傳感(gǎn)器就稱為變送器。
(標準信(xìn)號是物理量的(de)形式和(hé)數值(zhí)範圍都符合標準的信號。
例如直流4~20mA)有了統一的信號形式和數值範圍,就便於把各種變送器和其他儀表組成檢測係統或調節係統。
  

    輸出為非標準信號的傳(chuán)感器,必須和特定的儀(yí)表或裝置配套(tào),才能實現檢測或調節功能(néng)。
為了加強通用性和靈(líng)活性,某些傳感器的輸出可以靠轉換器把非標準(zhǔn)信號轉換成標準信號(hào),使之與帶有標準信號的輸入電路或接口的儀表配套。
不同的標準信號也可(kě)借助於(yú)轉換器(qì)互相轉換。
例如利用氣/電轉換器,能把20~100 kPa的空氣壓力轉換成0~10mA的直流電流。
  

    位式作用和連續作用:     

    位式(shì)作(zuò)用,也稱為開關(guān)作用,即傳感(gǎn)器在輸入變量整個變化範圍內其(qí)輸出(chū)相應隻有兩種狀態,例(lì)如空氣(qì)狀態的(de)“高”和“低”。
 

    位式作(zuò)用的傳感器多用於被測變量的超限報警、連鎖保(bǎo)護、順序控製。
例如我們的壓力開關。
 

    需要連(lián)續檢測或調節某些變量時,就必須用連(lián)續作(zuò)用的傳感器或變送器。
 

    長(zhǎng)野的(de)變送器中所使用的(de)傳(chuán)感器SS—蒸發型(xíng)半導體應變片的特點(diǎn):     

   (1)相對於粘貼式和(hé)擴散式,蒸(zhēng)發式(shì)為新技術。
 

   (2)其可測壓力範圍 -0.1~0.3MPa;0~200MPa 。

   (3)具有很好耐用性和穩定性。

    半導體應變片的(de)製作方法:粘貼方式、蒸發方式、擴散方(fāng)式。
  

    長野的變送器,如KM31、KM10 等,其(qí)半導體應變(biàn)片部分、感(gǎn)應元件(不鏽鋼隔膜)以及壓力接口部(bù)分通(tōng)過焊接連接(jiē)成一體,具有很高的穩定性和可靠性,抗震性和抗衝擊性良好。
 

     蒸發式半導體應變片的具體製作方式如下:        

   (1)在不鏽(xiù)鋼隔膜上使用CVD等離子沉澱一層SiO2絕緣膜 

   (2)在SiO2絕緣膜上再沉澱一層多晶矽。
 

   (3)在多晶矽上使用激光蝕(shí)刻,應(yīng)變片(piàn)成型 。

   (4)用電子束照射蒸鍍(dù),配上金製電(diàn)極。
 

   (5)再使用CVD等離子沉澱一層SiNx保護(hù)膜。
 

 

    根據傳(chuán)感器或變送器(qì)的安裝場所有無易燃易(yì)爆氣體及危險程度,選擇(zé)隔爆型及本(běn)安型。
     

   (1)隔爆型在內部電路和(hé)周圍易燃(rán)氣體之間(jiān)采取了隔離措(cuò)施,允許使用在有(yǒu)一定危險性的環境裏 。

   (2)本安型即本質安全型的簡(jiǎn)稱,依靠特殊設計的電路保證在正常(cháng)工作(zuò)及故障(zhàng)(意(yì)外短路(lù)或斷路)狀態下都不會引起燃爆事故,可用在(zài)十分易燃易爆的場所。

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